自动特性分析套件 (ACS)支持在整个晶圆上对半导体组件进行测试的多种半自动和全自动探针。或者对测试单个器件的探针进行交互控制。在运行期间,通过单个器件测试结果以及多个器件的统计结果,可以对测试进展进行监控。