1、体积小,重量轻 2、由于具有高灵敏度,因此适用于有高灵敏度和重复性要求的场合 3. 比传统的精密减压阀IR200流量大20%(最大1100L/min) 4. 比传统的精密减压阀IR200排气量大5倍 5. 压力设定精确 6. 安装方便,可用托架独立安装或与现在的模块式过滤组合AF及AFM直接安装 7. 标准也带面板式安装 8. 先导排气口与主道口分开 9. 可在洁净房使用(特别产品)
1、体积小,重量轻 2、由于具有高灵敏度,因此适用于有高灵敏度和重复性要求的场合 3. 比传统的精密减压阀IR200流量大20%(最大1100L/min) 4. 比传统的精密减压阀IR200排气量大5倍 5. 压力设定精确 6. 安装方便,可用托架独立安装或与现在的模块式过滤组合AF及AFM直接安装 7. 标准也带面板式安装 8. 先导排气口与主道口分开 9. 可在洁净房使用(特别产品)