材料: >99.999% 单晶蓝宝石 Al2O3 晶向: A-axis ±0.1° 直径: 50.8 +/- 0.1mm (2寸) 厚度: 430 +/-25um 定位边: M-Plane ± 0.2° 定位边长度: 16.0 ± 1.0mm 正面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm 反面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm (双抛) Fine ground Ra=0.8-1.2um (单抛) TTV:
材料: >99.999% 单晶蓝宝石 Al2O3 晶向: A-axis ±0.1° 直径: 50.8 +/- 0.1mm (2寸) 厚度: 430 +/-25um 定位边: M-Plane ± 0.2° 定位边长度: 16.0 ± 1.0mm 正面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm 反面: Epi-Polished, Ra≤0.2nm (双抛) Fine ground Ra=0.8-1.2um (单抛) TTV: