为精密仪器量身定制的高精度高适应性除振系统 该除振装置不仅拥有优异的性能,同时兼备了很好的灵活性。现如今越来越多的精密仪器不仅仅需要将除振装置直接与仪器连接,还希望整体结构尽可能紧凑,能够充分满足这类需求的除振装置就是我们的---SAFU系列。该系列产品不仅拥有优越的除振性能还兼备了很强的拓展性。该系列可以为精密仪器提供更为理想的除振环境。 ■技术领先\业绩显著的明立除振的空气弹簧式除振系统 采用了在显微镜、激光等的应用技术和半导体制造、检测装置等领域里被广泛使用的,并且有出众业绩的空气弹簧系统。从几个Hz到几百个Hz的大范围频率频带中它的优越性能都得到了认证和好评。另外即使停止供给空气,空气弹簧下部的特殊材质防振橡胶也照样能够保护负载仪器的精密构造。 ■具有通用化的组合件形式 跟设备组装在一起的时候,除振系统所需的空间很小, SAFU系列将整体结构调整,大胆地缩小除振装置的整体体积,从而可以不用大幅度改变设备本身的规格就能进行安装,同时获得较高的除振性能。 ■可负载范围广 需要除振的精密仪器每年在种类以及使用目的上都会越来越多样化。根据精密仪器的重量,明立除振拥有多种类的阵容。可以相应的满足从数百公斤甚至到10吨以上的大型精密仪器的负载。 ■也适用于在净化室使用 当在高等级的净化室内使用时,可以改用能集中排放空气的专用于净化室的维持水平传感器。(因为是特殊产品,详细情况请另行咨询。另外,不可变更为双级传感器。) ■即时应对负载物的移动 当负载物移动、线路板交接、自动加工、测量机等负载量发生变化时,使用弹性体的空气弹簧就必须恢复到原有位置。针对这种需求,SAFU系列可以搭配明立独创的高灵敏度水平传感器,实现在垂直方向上的重复位置精度达正负200微米。另外,近年还有些因为移动负载的高加速度导致平台摇晃问题的案例。使用双级传感器既可以减少摇摆时间,同时重复位置精度也可以达到正负±100微米, 作为被动除振系统对应的移动负载提高到了极限。(如果移动负载摇摆时间上有任何问题,请务必与我们联系。) ■选择机种以及组装装置设计的注意事项 ●支持负载台的空气弹簧之间的跨距越大越好. ●负载物(包括负载台)的重心位置,需要在如下图指示范围内.